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昆山半导体废气处理设备 技术指导
发布时间:2023-11-02        浏览次数:4        返回列表
昆山半导体废气处理设备 技术指导

  在石油化工、印刷、人造革及电子元器件、烤漆和医药等化工领域,挥发性的有机化合物,简称为VOCs,通常作为溶剂来使用。这些有机溶剂如果挥发到大气环境中,不仅会对大气环境造成严重污染,而且人体呼入被污染的气体后,对人体健康产生危害。


  随着工业技术的发展和环保意识的提高,各个国家对于VOCs废气的治理越发严格,整理出当下比较常用的几种VOCs废气处理方法。



  1、UV光解催化氧化设备



  UV光氧催化氧化利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气,使有机或无机高分子恶臭化合物分子链,在高能紫外线光束照射下,与臭氧进行反应生成低分子化合物,如CO2、H2O等。投资费用低,适用范围广,净化效率高,操作简单,除臭效果好,设备运行稳定,占地小,运行费用低,随用随开,不会造成二次污染。



  2、等离子废气处理设备



  低温等离子体内部产生富含高化学活性的粒子,如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应,终转化为CO?和H?O等物质,从而达到净化废气的目的。适用范围广,净化效率高,尤其适用于其他方法难以处理的多组分恶臭、有机废气、设备占地面积小;电子能量高,几乎可以和所有的恶臭、有机废气分子作用;运行费用低;反应快,停止十分迅速,随用随开。但对含水、含尘、有机废气易爆炸,一次性投资费高。



  3、活性炭吸附法



  活性碳吸附系统:包括吸附箱本体、活性碳、泄压装置、温度传感器、消防喷淋装置、仪表阀门等。



  ①由于脱附再生时活性碳床内有高温气体,所以吸附床采用双层隔热措施,吸附床内胆由3mm碳钢材料制作,外表由2mm碳钢材料制作。



  ②由于活性碳和吸附的溶剂都是易燃物品,所以在活性炭吸附器上设置泄压装置。活性炭吸附器内的压力正常状况下小于0.01MPa,为了保护设备,我们设置的泄压装置的泄压压力为0.01MPa.。



  ③为了保护设备,吸附箱上设置喷淋装置,当温度超过极限设定值时,电柜就会声光报警,同时喷淋装置就会立即启动,进行喷淋灭火。



  ④吸附床的吸附进(出)风阀和再生进(出)阀门均采用气动阀门,此阀门密闭性好、开启灵活、维修方便、坚固耐用。



  ⑤吸附箱上设置温度传感器,传感器监测吸附箱内温度,输出信号。



  ⑥活性碳:



  ◎吸附活性碳选用蜂窝状活性碳,活性碳的规格:100×100×100



  ◎蜂窝状活性碳比表面积大,吸附能力强。



  ◎蜂窝状活性碳流体阻力小,运行更省电。



  ◎活性碳填充量:活性碳的质量和数量决定废气处理设备净化效率的高低,所以要在保证活性碳质量的基础上,合理配置活性碳的填量。


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